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SRPS-QGA/BGA系列

高精度硅谐振压力传感器

产品简介

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SRPS-QGA/BGA系列高精度硅谐振压力传感器,是4188云顶集团自主开发的一款高精度MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)压力传感器。硅谐振压力传感器是目前测量精度最高的压力传感器,因其具有精度高、稳定性好、准数字输出等优点,被广泛应用在航空大气数据测量系统、地面压力控制器和气象测量设备中。

传感器表芯中谐振结构采用音叉梁设计,其工作方式为面内振动,通过静电激励、电容检测的方式捕捉谐振频率,再结合闭环控制电路转化为频率信号输出。

SRPS-QGA/BGA系列高精度硅谐振压力传感器管壳为022Cr17Ni12Mo2(316L)不锈钢材质,并采用激光焊接工艺,可与多种规格的压力接口和电气接口连接,用户可根据其具体应用需求进行选择。


产品特点

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应用领域

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外形尺寸

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说明:所有尺寸的单位均为毫米。


技术指标

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可选压力范围 最大过载压力 最大破坏压力 压力类型 可选补偿温度范围
140kPa 3.0×F.S. 3.5×F.S. 绝压 -10℃~50℃
280kPa 1.5×F.S. 2.0×F.S. -40℃~80℃
350kPa 1.2×F.S. 1.5×F.S. -55℃~85℃
1Mpa 1.5×F.S. 2.0×F.S.


可选综合精度 长期稳定性 响应时间 起振时间
±0.01%F.S. 提高级士0.01%F.S. 压力从10%变化至90%F.S.时<25ms 供电后250ms达到精度指标
±0.02%F.S. 标准级士0.02%F.S.
±50.05%F.S.



加速度影响 测量介质
<5Pa/g

干燥无腐蚀性气体(硅片裸露结构)

无腐蚀性气体、液体(充油隔离结构)


供电和输出
供电电压 电流消耗 输出 输出范围
15V±0.5V 30mA 压力频率
35kHz~45kHz
温度 频率
2kHz~7kHz
电压 400mV~800mV
电压 1000mV~1800mV
电压 0~1500mV


输出形式:压力输出为方波频率信号,温度输出为电压信号或方波频率信号,方波电平为5VTTL


压力接口
A: M10×1外螺纹(hex22)

B: M12×1外螺纹(hex22)

C: M10×1外螺纹(60°内锥、hex22)

D: M12×1外螺纹(60°内锥、hex22)

E: M10×1外螺纹(60°内锥、hexl7) F: M12×1外螺纹(60°内锥、hex17)


电气接口

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代码 颜色 定义 含义
1
+15(V) +15V电源接线
2

FREQ 频率
3

绿

TEMP+ 温度+
4

TEMP- 温度-
5 GND 接地


型号 外形尺寸 重量
A φ25mm×98mm 58g
B φ25mm×37mm

100g

C φ25mm×44mm 131g
D φ25mm×51.5mm


注:不包含压力接口及电气接口。


电气连接

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选型指南

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选型代码

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例如:SRPS-QGA-R1-TA-A1-S1-1A1A/SRPS-BGA-R1-TA-A1-S1-1A1A

注:

1、SRPS-QGA系列,电子器件选用全国产军用级;SRPS-BGA系列,电子器件选用工业级。

2、F-F即输出为压力频率-温度频率;F-V即输出为压力频率-温度电压。


绝压

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表压

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绝压/密封表压

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10MPa以上(含10MPa)绝压/密封表压

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10MPa以下绝压/密封表压

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原理图和焊盘配置

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10MPa以下表压

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