SRPS-QBA/BBA系列

高精度硅谐振压力传感器

产品简介

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SRPS-QBA/BBA系列高精度硅谐振压力传感器，是4188云顶集团自主开发的一款高精度MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）压力传感器。硅谐振压力传感器是目前测量精度最高的压力传感器，因其具有精度高、稳定性好、准数字输出等优点，被广泛应用在航空大气数据测量系统、地面压力控制器和气象测量设备中。

传感器表芯中谐振结构采用音叉梁设计，其工作方式为面内振动，通过静电激励、电容检测的方式捕捉谐振频率，再结合闭环控制电路转化为频率信号输出。

SRPS-QBA/BBA系列高精度硅谐振压力传感器采用简洁的压力接口和电气接口，在保证性能的情况下，将传感器的尺寸压缩到最小，方便产品的拆卸与安装。

可选压力范围	最大过载压力	最大破坏压力	压力类型
140kPa	3.0×F.S.	3.5×F.S.	绝压
280kPa	1.5×F.S.	2.0×F.S.
350kPa	1.2×F.S.	1.5×F.S.

补偿温度范围	综合精度	长期稳定性	加速度影响
-10℃~50℃	±0.01%F.S.	提高级士0.01%F.S.	<5Pa/g
-40℃~80℃	±0.02%F.S.	标准级土0.02%F.S.
-55℃~85℃	±0.05%F.S.

响应时间	起振时间	测量介质	压力接口
压力从10%变化至供电后250ms	供电后250ms达到精度指标	干燥无腐蚀气体	φ2mm×7mm

供电电压	电流消耗	输出	输出频率范围
15V±0.5V	30mA	压力频率	35kHz~45kHz
		温度频率	2kHz~7kHz

型号	代码	定义	含义
A	1	NC	常闭触点
	2	TEMP(TF)	温度
	3	AGND(G)	模拟地
	4	FREQUENCY(F)	压力频率
	5	AGND(G)	模拟地
	6	+15(V)	+15V电源接线
	7	(NCS)	控制线
	8	(DOUT)	输出
	9	(DIN)	输入
	10	(CLK)	时钟信号
	11	DGND(DG)	数字地
	12	NC	常闭触点

型号	外形尺寸	重量
A	55.6mm×41.6mm×12mm	21g
B	45mm×28mm×12mm	14g

型号	代码	定义	含义
B	1	+15（V）	+15V电源接线
	2	GND（G）	接地
	3	FREQUENCY（F）	压力频率
	4	TEMP（TF）	温度
	5	SCL	控制线
	6	SDA	数据线

高精度硅谐振压力传感器

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产品特点

应用领域

外形尺寸

技术指标

电气接口

电气连接

选型指南

选型代码

绝压

表压

绝压/密封表压

10MPa以上（含10MPa）绝压/密封表压

10MPa以下绝压/密封表压

原理图和焊盘配置

10MPa以下表压

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